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【实战宝典】多晶硅生产工艺有哪些？

  • 小官人-闭关修炼中
    2022/07/05
    • 私聊

ICP-MS

  • 问题描述：多晶硅生产工艺有哪些？
    解答：
    多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅，为了提高原料利用率和环境友好，在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。硅烷法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中，是硅烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料。

    西门子法工艺流程

    硅烷法工艺流程



    以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》
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