timstoicpms
第2楼2023/06/01
等离子体点火后预热时反馈功率在2W左右
—— 这说明,按照工厂 预设参数 1550W 时,RF Matching 是正常的
调谐时20W左右,测试样品时反馈功率能一下子增大到90W,甚至能到100W以上
—— 你得去看 测试方法的批处理,缓慢调谐 RF matching 数值让反射功率降下来(正常数值应该介于 1.4~1.7之间)
如果这一步也做了,但是 反射功率降不下来;
或者是 得用很极端的 RF matching 数值(比如低端0.2,或者高端3.0)才能让 反射功率降低,那么 去找安捷伦报修。
并不是 匹配箱坏了,而是 匹配箱中的 定位光耦沾染灰尘,导致 实际的 RF matching 零点 与定位光耦认为的“零点”不一致。
自己动手能力强的话,可以拆出匹配箱 光耦,酒精棉花擦拭下 就 ok;
动手能力弱,那就花钱让 安捷伦工程师上门