【求助】请问高纯硅中测以下元素钙用什么仪器

火焰 ICP-MS 石墨炉都可吧，

同志们，只有纯度小于等于5N的高纯铝，才可以用ICP检测，而ICP的精度只能到1-2ppm（跟不同元素谱线有关），得到0.x的结果，90%以上不准确。

最佳的检测设备和方法是GDMS－辉光放电质谱仪。但老式的VG9000速度太慢，我们上海交通大学和南通泰德电子材料科技有限公司合置了一台美国热电公司的最新型GDMS－Element-GD，精度可以达到0.1ppt（估计同志们都知道是什么单位了），同时我们购买了高纯铝标样，是中国唯一一家可以定量测量高纯铝超高纯铝的检测机构，如果有什么具体的问题，请登录www.shtade.com 或http://blog.sina.com.cn/5n5hpaluminum，或发送邮件到zhangjiao99@163.com
也可以检测高纯硅

应助工程师

呵呵，这位仁兄对GDMS这么信心满满啊。。。Element GD可不是VG9000哈