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【求助】EDS结果非归一化范围是如何确定的?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问:非归一化结果是否必须在90%-130%,为什么?如下结果有问题吗?
    Spectrum: Objects1

    El AN Series unn. C norm. C Atom. C Error
    [wt.-%] [wt.-%] [at.-%] [%]
    --------------------------------------------
    Cu 29 K-series 122.85 90.28 87.05 3.4
    As 33 K-series 5.14 3.77 3.09 0.3
    Zn 30 K-series 2.12 1.56 1.46 0.1
    C 6 K-series 0.98 0.72 3.69 1.1
    Ni 28 K-series 0.92 0.67 0.70 0.1
    Cr 24 K-series 0.76 0.56 0.66 0.1
    Sb 51 L-series 0.72 0.53 0.27 0.1
    Sn 50 L-series 0.72 0.53 0.27 0.1
    Fe 26 K-series 0.64 0.47 0.52 0.1
    Co 27 K-series 0.56 0.41 0.43 0.1
    S 16 K-series 0.02 0.01 0.03 0.0
    O 8 K-series 0.65 0.48 1.84 0.8
    --------------------------------------------
    Total: 136.07 100.00 100.00
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  • 德国工兵

    第1楼2007/04/28

    楼上的同学非归一结果不行啊,重做吧,非归一无标样定量结果应该在10%的范围内才是可靠的,有标样的话可以做到5%以内。当然不是随便拿个样品就能测出好的结果的,要出好的定量结果有以下条件:1.对样品要求均匀,表面平整。2.对操作者要求更多,要求操作者熟悉仪器的各个参数,比如WD ,HV(同样的样品不同的加速电压定量结果会相差很多,因此选择合适加速电压很重要)等等

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  • lttpxx

    第2楼2007/08/22

    请问楼上的,EDS定量的准确性具体怎样做?是通过标样调参数吗?(AV、SPOT),国内标样哪里好?性价比?

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  • 德国工兵

    第3楼2007/08/28

    其实说到底,最好的标样就是你的样品!做定量的几个要点如下:
    1.样品制备,表面平坦,导电,均匀,
    2.选择合适的测试条件,包括电镜参数和能谱参数
    3.元素鉴别,重叠峰的剥离,这个取决于您对样品的了解程度。
    4.选择合适的定量方法,如果有标样,建立合理的标样库。

    这样就可以得到比较好的定量结果

    lttpxx 发表:请问楼上的,EDS定量的准确性具体怎样做?是通过标样调参数吗?(AV、SPOT),国内标样哪里好?性价比?

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