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【讨论】noran s7能谱应用问题

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 新装了一个NS7能谱仪，调试的时候Mn Ka 计数率只有500，调试工程师说是我们的电镜质量有问题。还有，在打材料的基体和第二相时成分居然没有差别，郁闷了。请有经验的兄弟姐妹指点一下。
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  • fengyonghe

    第1楼2010/08/07

    计数率只有500，此时的二次电子像如果清晰、无噪声点，还不能说明是由于束流太低而使计数率只有500



    因能谱空间分辨率为几个微米，要看第二相有多大，选择大一些的质点测量。

    flyfog(flyfog) 发表:新装了一个NS7能谱仪，调试的时候Mn Ka 计数率只有500，调试工程师说是我们的电镜质量有问题。还有，在打材料的基体和第二相时成分居然没有差别，郁闷了。请有经验的兄弟姐妹指点一下。

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  • ceisar

    第2楼2010/08/08

    如果你的SEM使用正常,你可以增大束流(spot size),但我的感觉是热电的工程师的推辞!好好检查eds的安装情况!
    材料的基体和第二相都是什么成分啊?不说明很难判断的!

    flyfog(flyfog) 发表:新装了一个NS7能谱仪，调试的时候Mn Ka 计数率只有500，调试工程师说是我们的电镜质量有问题。还有，在打材料的基体和第二相时成分居然没有差别，郁闷了。请有经验的兄弟姐妹指点一下。

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  • golf

    第3楼2010/08/17

    500cps根本不适合做能谱的。测量分辨率指标时都要至少4000cps。

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