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FEI Quanta FEG 250 场发射扫描电镜操作求助

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 今天在操作FEI Quanta FEG 250 场发射扫描电镜时发现问题,想重启服务系统,结果手欠,一个手滑点了红框里的shutdown system,悲剧就此开始。我重新打开系统,开启电镜,一切看上去都是良好状态,结果点Beam on时发现机器不理我,仔细一看Emission current显示电流0.0μA。然后我打开5-Emitter startup,Lep是开着的,点Emitter on,木有反应,看说明书,说重启系统就ok,但事实是重启了N次都没有OK,有没有好心的哥哥姐姐能告诉我,电镜这是出了什么问题(O_O)?
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  • 麦弯梦

    第1楼2016/05/12

    还是给FEI的售后打电话吧 http://www.fei.com/service/locations/

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  • 驰奔

    第3楼2016/05/13

    估计没啥事吧,虚惊一场。

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  • 小M

    第4楼2016/05/18

    应助达人

    按照步骤一步一步来,按绿色开关机键----开计算机----start---start UI---开灯丝
    过去几天了,应该没事了吧

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  • huwang251

    第5楼2016/05/23

    登录电脑和软件时,要的哪个用户名?有时要用support。

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  • zjupengyu

    第6楼2016/05/24

    请问解决了么?什么情况?

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  • Hyl1

    第7楼2016/05/25

    解决了吗?之前听说shut down 只能厂家工程师来开机 自己能解决吗?

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  • cvbs11

    第8楼2016/05/26

    只有IGP1和IGP2正常的情况才可以开灯丝,否则真空不好,灯丝也打不开。如果不是以上问题,可以在TstGun里面对灯丝操作,点Operate,开灯丝需要30分钟左右的时间,灯丝电流会慢慢上升到正常值。

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  • 不可救药之人

    第10楼2016/09/14

    看看IGP12是否开启,以及真空值是多少

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  • Ins_b862ce8b

    第11楼2023/07/07

    最终是啥问题呢

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