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氦质谱仪检漏原理

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2024/10/25

综合仪器讨论

?氦质谱检漏仪的原理基于质谱分析技术，使用氦气作为示踪气体进行检测。?其工作原理如下：
- ?生成氦气?：通过电离和液态分离等方法生成极高纯度的氦气?。
- ?检测氦气?：将氦气注入检测系统，如果系统内部存在泄露，氦气会通过泄露的地方外溢?。
- ?测量氦气浓度?：通过氦质谱仪测量在检测区域内氦气的浓度，如果浓度发生变化，说明存在泄露?。
- ?确定泄露位置?：通过氦质谱仪和其他检测设备（如红外热像仪、电磁波探测仪等）确定泄露的位置?。

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