其他仪器综合讨论
第1楼2004/05/17
是指X射线能谱吗？好像和电镜配合使用得较多，用于微观区域的元素分析。
第2楼2004/05/18
EDX 是与电镜联用的,主要是做成分分析,XPS的主要做化学成分和价态分析,EDX和XPS的纵向分辨率不同,XPS的高
第3楼2005/05/31
EDX主要和电镜联用，能分析微区样品，比较直观。但不能分析价态。XPS的分析主要在于价态，另外XPS的分析元素范围要广。EDX的一般在B－U之间。
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