多电子接点装置评价系统

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

2012/10/31 16:09
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将装置导入传样室，通过复数电极有效的接触，可对
装置进行评价。
气体导入系统可以对应各种气体，压力条件下的实验。




规格
通电室
真空腔 φ250×350
样品操纵器 3轴 （X, Y, Z） /
付多销接点机构
排气系统 分子泵 800l/sec，滚动泵 500l/min

传样室
真空室 φ250×350
搬送機構 手推式样品载入机构
排気系 分子泵 200l/sec，滚动泵

气体导入系统
控制系统 非稳定波形磁控管压力控制
（自动流量控制）
 
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