单晶金基板制作装置

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

2012/10/31 16:10
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具备良好均热性的加热机构和可控蒸镀速率，可实现在云母基板上的单晶金膜的生长。
可混合制作设计，一次可进行复数以上的基板成膜。





基板加热 角形辐射加热机构
基板支撑方式 角形导轨方式
基板个数 10mm×10mm：21个
10mm×20mm：12个
基板屏蔽 手动式
蒸发源 耐加热式3源端口
到达真空度 10-6Pa级
膜厚监测 水晶振动方式
可扩展组件 防止剥离处理单元


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