CVD装置用气体混合系统

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

2012/10/31 16:10
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DA0060






为CVD装置提供混合气体的专用设备。
可以对复数以上的气体进行任何比例的混合供给。传送带设计，可很大程度上减少阀门操作带来的压力变化。




 

输气管 10条
管道接头 4VCR
蒸发器 2个 (可控温)
阀门控制 可使用专用软件控制（扩展组件）




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