型号: | RST |
产地: | 其他 |
品牌: | 伯奢咏怀 |
评分: |
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当薄膜具有压应力或拉应力时,测试仪测量板-薄膜复合体的变形率,并计算残余应力。
• 薄膜残余应力测量解决方案
特点
• X-Y轴的自动控制
• 使用薄膜曲率Stoney公式计算残余应力(能够测量非晶状态)
• 易于控制
注意事项
• 测量测试:电路板需要使用250±15um的硅片厚度,长度是宽度的10倍
• 薄膜厚度需小于电路板尺寸的1/50
规格
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