型号: | WSMS |
产地: | 德国 |
品牌: | |
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PVA Munich Metrology具有20年以上的经验为半导体产业提供先进的VPD系统。透过专业的技术知识及全球服务和支援点,Munich Metrology可以在全球各地为客户安装GeMeTec系统。
WSMS - 晶圆表面测量系统
先进的VPD气相分解系统,集成了污染物追溯的元素形态分析(ICP-MS)模块。
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