光罩自動化

产品详情

EUV/OPT 光罩护膜贴合设备 (KAM-201)

设备特色

．可同时对应EUV与OPT两种光罩护膜贴合需求

．高洁净型6轴机器手臂全自动移载Reticle及Pellicle，配置自动换爪系统

．影像对位补偿与贴合站主动式平行度调整机制，确保贴合精度

．贴合精度自动检验功能

．特殊光源AOI检查Pellicle外观瑕疵

．对应AMHS(SEMI E87，E84)自动取放并自动开盒

性能规格

．贴合后光学变形量<2nm

．贴合精度：±0.1mm

．贴合压力：0.035～0.4 kN

．超洁净环境控制能力：Particle >100nm，0 EA

EUV/OPT 光罩移载设备 (KAX-311)

设备特色

．依制程指定，执行光罩旋转、翻面与换盒等作业

．可对应各种光罩盒(RSP150/200/Dual)

．光罩盒充填氮气，确保盒内保持低湿、低氧与高洁净度环境

．对应AMHS(SEMI E87, E84)自动取放

．具备Pellicle方向正确性判断

．自动识别EUV与OPT光罩方向(0/90/180/270, flip/non flip)

性能规格

．超洁净环境控制能力：Particle >100nm，0 EA

．光罩换盒移载速度：<3 min

香港电子器材有限公司为您提供KAINOVA 光罩自動化Kainova Tech - 光罩自動化，KAINOVA Kainova Tech - 光罩自動化产地为台湾，属于进口光学薄膜测量设备，除了光罩自動化的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光学薄膜测量设备,香港电子客服电话400-860-5168转2459，售前、售后均可联系。

问商家

KAINOVA 光学薄膜测量Kainova Tech - 光罩自動化的工作原理介绍光学薄膜测量Kainova Tech - 光罩自動化的使用方法?KAINOVA Kainova Tech - 光罩自動化多少钱一台?光学薄膜测量Kainova Tech - 光罩自動化可以检测什么？光学薄膜测量Kainova Tech - 光罩自動化使用的注意事项？KAINOVA Kainova Tech - 光罩自動化的说明书有吗？KAINOVA 光学薄膜测量Kainova Tech - 光罩自動化的操作规程有吗？KAINOVA 光学薄膜测量Kainova Tech - 光罩自動化报价含票含运吗？KAINOVA Kainova Tech - 光罩自動化有现货吗？

型号：	Kainova Tech - 光罩自動化
产地：	台湾
品牌：	KAINOVA
评分：