电化学ECV +掺杂浓度PN结深测试 WEP

2014-07-22 11:40 下载量：12

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电化学ECV,掺杂浓度检测（C-V Profiling）PN结深测试电化学ECV可以用于太阳能电池、LED等产业，是化合物半导体材料研究或开发的主要工具之一。电化学ECV主要用于半导体材料的研究及开发，其原理是使用电化学电容-电压法来测量半导体材料的掺杂浓度分布。电化学ECV(CV-Profiler, C-V Profiler)也是分析或发展半导体光-电化学湿法蚀刻(PEC Etching)很好的选择。本设备适用于评估和控制在半导体生产中的外延过程并且以被使用在多种不同的材料上，　例如：Silicon, Germanium, III-V including III-Nitrides. CVP 21 的净室和模块化的系统设计结构使得本系统可以高效率，准确的测量半导体材料（结构，层）中的掺杂浓度分布．选用合适的电解液与材料接触，腐蚀，从而得到材料的掺杂浓度分布。电容值电压扫描和腐蚀过程由软件全自动控制 CVP21的系统特点 ? 坚固可靠的模块化系统结构．光学，电子和化学部分相对独立． ? 精确的测量电路模块 ? 强力的控制软件，系统操作，使用简便 ? 完善的售后服务体系

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文献贡献者

上海瞬渺光电技术有限公司

铜牌会员 | 第11年

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