型号: | NewView 7100 |
产地: | 美国 |
品牌: | |
评分: |
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美国ZYGO 3D表面台阶/轮廓仪
特点:
◆快速非接触式扫描
◆亚微米级Z轴分辨率
◆先进的高精度测量能力
◆超强光学图像
系统:
◆原理: 非接触、三维白光扫描干涉仪
◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷,高线性电容传感器
◆视场范围: 标准配置:0.07-9.3mm;如选配1K Camera:0.15-14.5mm;通过拼接功能可获得更大测试范围;具体视场范围取决于所配物镜.
◆光源: 均匀成像,高效率,特殊设计长寿命白光LED物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具;
◆控制 :滤光板托架,视场光阑(辅助聚焦)测量阵列: 标配640×480 像素;选配992×992(1k)像素样件观察: 专用液 晶显示屏实时观察.
◆精密聚焦 :电控手动和自动聚焦
◆Z 轴驱动:直流无刷微步进电机驱动,200mm 行程,0.1μm 精度
◆尺寸:系统尺寸:157×132×2225px;
◆NewView:81×58×1025px
◆重量 :系统重量:约430Kg
◆附件(可选配):物镜: 1 × ,2 × ,2.5 × ,5 × ,10 × ,20 × ,50×,100×,具体规格见物镜参数表
◆物镜座: 手动 6 位塔台;电控 6 位塔台;
◆样品台: 手动,俯仰,倾斜(±6°)和X,Y 平移(100mm);电动,俯仰,倾斜(±4°)和X,Y 平移(152mm);
◆测量标准块:横向校准标准块; 精密横向校准标准块;
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