大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品
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大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品

参考价：¥50万 - 80万
型号： VPO-300
产地： 德国
品牌： 尤尼坦
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核心参数
载德半导体技术有限公司
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产品详情

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。

 

仪器特点：

  -  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA；

  -  可在真空、甚至于高真空环境使用；

  -  加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；

  -  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；

 

参考用户：

中科院上海技术物理所，中国电子科技集团41所；


载德半导体技术有限公司为您提供尤尼坦大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品VPO-300，尤尼坦VPO-300产地为德国，属于进口退火炉，除了大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,载德半导体客服电话400-860-5168转3241，售前、售后均可联系。

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典型用户
用户单位 采购时间
中科院苏州纳米所 2013/12/01

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