RTP-100-RP快速退火炉(中温/低价位)

参考价：¥10万 - 30万

型号：	RTP-100-RP
产地：	德国
品牌：	尤尼坦
评分：

核心参数

仪器种类：无真空快速退火炉
产地类别：进口
样品尺寸： 4"
温度范围： 800dC
最高升温速率： 100K/S
降温速率： 100K/S
退火温度准确性： 1K
退火温度均匀性： 1%

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产品详情

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。

RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用，适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品。

仪器特点：

- 最高工艺温度：650摄氏度；

- 加热区域：200mm x 170mm；

- 高性价比；

参考用户：

中电13所等。

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