型号: | L-300 |
产地: | 瑞士 |
品牌: | Powatec |
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12寸晶圆压膜机
品牌:Powatec
型号:L-300
产地:瑞士
关键字:晶圆压膜机、12寸
POWATEC L-300 手动层压机的独特设计允许一次性将粘性箔或 UV 箔层压到最大 300 毫米的晶圆上。在层压过程中,一个特殊的卡盘通过真空将晶圆固定在适当的位置。使用橡胶辊,箔安装无气泡。使用切割装置,薄膜在框架上被切割并被薄膜卷的横向直径分开。
主要特点:
· 高达 300 毫米的晶圆尺寸
· 带平面或不带平面的卡盘设计
· 可调胶带张力
· 快速轻松地转换为各种晶圆和箔片
· 紧凑而坚固的桌子设计
· 安装和启动时间短
· 运营成本低
· UPH,胶带晶圆/小时高达 80 片
选项:
· UV胶带
(PTW)保护胶带卷绕机的自动卷绕装置
· 静电荷主动保护 (ASB)
· 带储物空间的桌子,适用于洁净室
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