德国Osiris UNIXX D20型晶圆显影机

德国Osiris UNIXX D20型晶圆显影机

参考价：面议
型号： UNIXX D20
产地： 德国
品牌： Osiris
评分：
核心参数
微纳（香港）科技有限公司
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产品详情

n产品简介

UNIXX DB20 型晶圆显影机是一款针对8寸及以下尺寸晶圆的半自动系统，系统可集成显影，清洗，干燥等模块，同时可用于方片显影，最大尺寸150mm*150mm。

 

n产品特色

÷ 适用先进的显影、清洗和干燥工艺

÷ 圆形晶圆最大可达 ：8寸/12寸 

÷ 方形衬底最大可达 :150*150mm/230*230mm 

÷ 防溅环自动升降

÷ 具有 BSR 背部清洗功能

÷ 配置低接触离心力卡盘

÷ 可提供全自动系统

÷ 手动装/卸

÷ 适用所有半导体材料，如硅衬底、玻璃衬底、陶瓷衬底

÷  1x 输送臂，最多 6 条管路

÷ 不同类型的喷嘴

÷ 通过压力罐或泵系统供应化学液

÷ 具有摆动效果的旋转电机

÷ 不同化学液分离排放（1、2 或 3 向分离）

 

n技术数据

÷ 衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm  或 150 x 150 mm 

÷ 电机转速: 最大 10.000 rpm，步长 1 rpm

÷ 电机加速: 最大 40.000 rpm/sec，步长 1 rpm/sec 

÷  步进时间: 1 到 999.9 秒，步长 0.1 秒

 

                                   


微纳（香港）科技有限公司为您提供德国Osiris UNIXX D20型晶圆显影机，OsirisUNIXX D20产地为德国，属于进口涂胶显影设备，除了德国Osiris UNIXX D20型晶圆显影机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多涂胶显影设备,MNT客服电话400-860-5168转3282，售前、售后均可联系。

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