荷兰SCIL公司AutoSCIL纳米压印光刻系统_价格-微纳（香港）科技有限公司

产品详情

n 荷兰SCIL公司简介

荷兰SCIL公司是全球知名的纳米压印设备供应商，是荷兰飞利浦公司投资的高科技公司之一，并与SUSS，Fraunhofer，AMO，AMOLF合作，共同开发了专利的“SCIL基底保形压印”技术，真正意义上实现了纳米压印技术的工业wafer级量产，已经被国际上很多知名fab厂采用。

“SCIL基底保形压印光刻”是一种经济高效、稳健、高产量的工艺，可在多种材料上实现纳米分辨率图案。SCIL可实现在达 300 毫米的晶圆区域上提供经过验证的高质量压印。它可用于制作特征尺寸小于 10 nm 和套刻对齐精度小于1 μm 的图案。

荷兰SCIL公司同时开发了专利的无机玻璃纳米压印光刻胶，可直接作为功能层使用，可直接省去2个工艺步骤，大大降低了生产成本。

SCIL 目前可提供2” 至 12”晶圆手动研发工具到全自动系统的全方位解决方案，并可以帮助客户优化设备、耗材和流程，以实现大批量生产。

n SCIL 技术特色

- 即使在非平坦和弯曲的表面上也可以保证保形接触印刷（专利的模板复制技术）。

- 独特的 SCIL 压印工艺可确保＜10 nm 分辨率、低图案变形和无颗粒损坏印模。

- 套刻对齐精度：< 1 μm

- -gel的优异蚀刻特性可得到极高的蚀刻率。

- Sol-gel的的热稳定性、光学透明度和（UV）稳定性使其适合作为功能层。

- 使用热Sol-gel大大增加了母版寿命。

- 总体而言，SCIL可将最高的压印质量和产量与高吞吐量和低总体拥有成本相结合。

n AutoSCIL型全自动纳米压印系统简介

AutoSCIL型全自动纳米压印系统包括所有基本工艺步骤：晶片处理、预对准、旋涂、SCIL 压印、烘烤和冷却。

n 技术参数

产能	30 - 60 wafers/小时（取决于wafer尺寸，材料，pattern尺寸等因素）
晶圆尺寸	2” up to 8” (or 200 mm)
Wafer thickness	0.3 - 2.5 mm
晶圆搬运	Cassette-to-cassette,带robot
光刻胶类型	Thermal sol-gel UV sol-gel UV organic
光刻胶涂层	集成了旋涂仪
压印技术	低力软模基底保形纳米压印技术
后处理	烘烤与冷却
尺寸(WxLxH)	1.9 x 1.6 x 2.2 m
套刻精度	< 1μm

n 应用

纳米图案化是众多纳米光子应用的关键工艺步骤。下面提到的应用程序只是一个选择。其他应用包括：

- 增强现实和虚拟现实 (AR/VR) 光学

- MicroLED

- MEMS和传感器

微纳（香港）科技有限公司为您提供荷兰SCIL公司AutoSCIL纳米压印光刻系统，SCILAutoSCIL产地为荷兰，属于进口纳米压印设备，除了荷兰SCIL公司AutoSCIL纳米压印光刻系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多纳米压印设备,MNT客服电话400-860-5168转3282，售前、售后均可联系。

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型号：	AutoSCIL
产地：	荷兰
品牌：	SCIL
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