德国Osiris台式匀胶机
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德国Osiris台式匀胶机

参考价:面议
型号: BASIXX SB20+
产地: 德国
品牌: Osiris
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产品详情

n产品简介

BASIXX SB20 +是一款台式半自动匀胶机系统,功能强大,具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能,样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片,广泛用于大学,研究所等科研实验室。

 

n产品特色

÷ 落地台式机,结构紧凑,所有单元集成在一台设备中,集成度高。

÷ 手动装载/卸载

÷ 衬底最大可达 ?200 mm (?8 inch)  150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 软件提供用户友好的操作

÷ 直驱旋涂电机

÷ 全轴电机驱动且完全可编程

÷ 带安全中断传感器的透明盖

÷ 外壳上有电源开关 ON / OFF

÷ 工艺腔和可更换防溅环,易于拆卸以进行清洁。

÷ 系统材料为PP材质,耐所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 

÷ 包括 0.5 升废液瓶

 

          

 

n技术数据

 

÷ 衬底尺寸最大可达 ?200 mm (?8 inch)  150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 电机转速最大 10.000rpm步长 1 rpm

÷ 电机加速最大 4.000 rpm/s

÷ 步进时间: 1  999.9 s,步长为 0.1s

÷ 工艺腔材质由天然 PP 制成

÷ 系统架构材质由白色 PP 制成

÷ 液体线路:

3线: 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1  - ∞

5线: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1  - ∞

 

n选项

 

÷  自动液体输送臂            ÷  液体罐                      ÷  防溅环

÷  废液池                          ÷  DI水冲洗                    ÷  N2吹扫

÷  热板                             ÷  不同类型的夹具         ÷  中心定位模块

 

           

 

      


   


微纳(香港)科技有限公司为您提供德国Osiris台式匀胶机BASIXX SB20+,OsirisBASIXX SB20+产地为德国,属于进口匀胶机,除了德国Osiris台式匀胶机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多匀胶机,MNT客服电话400-860-5168转3282,售前、售后均可联系。

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