Jetstar系列高温退火炉

适用于科研及生产线；

基片从上面载入/取出；

最大可支持的尺寸：直径为300mm的基片或者300mm×300mm的基片；

最高温度高达1200摄氏度；

升温速率为40K/sec；

降温速率分段控制：从1000℃到400℃，降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃最大降温速率控制在30K/sec；

PID处理控制器，程序段无限制，每程序段50步，带USB2.0的接口。包含UniSoft 软件，与微软Windows操作系统兼容。通过该软件，通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。

不锈钢冷腔室壁优点

工艺重复性高；

高冷却速率，低记忆效应；

高温计和热电偶控制；

快速数字PID温度控制器；

超清洁无污染的环境；

无金属和无交叉污染

应用范围：

离子注入/接触退火；

快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；

SiAu，SiAl，SiMo等炼制合金；

低K电介质；

后植入退火处理；

铜浆烧制；

电阻浆料烧制；

太阳能电池晶片键合工艺；

LTO钛酸锂材料制备；

晶体化，致密化；