型号: | R50 |
产地: | 美国 |
品牌: | 美商菲乐 |
评分: |
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Filmetrics R50系列提供接触式四点探针(4PP)和非接触式涡流(EC)测量。R50以最快1点/秒的速度映射导电膜的电阻率/电导率。电动X-Y载物台使用你准缩厂收益或定制制样品架,最大可测量300mm的样品,最大可测量200mm的面积。
四点探头和涡流探测系统
以矩形,线性,极性和自定义配置
X-Y行程最大200mm
在导体和半导体薄膜上测量方块电阻的范围大
接触式和非接触式测量
具有以下功能的自动X-Y平台:
100mm x 100mm行程
200mm x 200mm行程(-200型号)
100mm Z载物台行程
倾斜台,行程+/-5o
无限数量的测量样本图中的位置
测量自动化地图模式生成器,内置的地图模式生成器使您轻松生成需要测量的斑点图案样品的相关区域,从而节省了数据采集期间的时间。
这只是您可以使用的一些参数。
圆形或正方形地图
径向或矩形图案
中心或边缘排除
点密度
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