原子层沉积

原子层沉积

参考价：面议
型号： AT650T/AT-臭氧发生器/AT650P/AT200M
产地： 其他
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迈可诺技术有限公司
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  • 占地面积小（38.1 厘米；15 英寸宽）台式等离子 ALD

  • Inchfab 紧凑型高效远程 300 瓦 ICP 源

  • 集成匹配网络

  • 可容纳直径为 6 英寸的样品，带有可选的可定制卡盘。

  • 带有 40 – 400°C 加热样品架的暖壁铝制腔室

  • 3 种有机金属前体可以加热到 185C，另外一种可以在标准条件下加热。

  • 多达 4 个氧化剂/还原剂源，每个都带有超快 MFC（2 个标准）


  • 具有超快 MFC 和集成惰性气体吹扫的高温兼容快速脉冲 ALD 阀

  • 静态处理模式可实现高曝光


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