| 型号： | UNIXX S 20 D |
| 产地： | 德国 |
| 品牌： | Osiris |
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UNIXX S 20 D 显影机是应用于显影工艺的设备，适用的基板尺寸最大到8英寸的圆片 和最大到6英寸x6英寸的方片。新设计的三片式可拆卸工艺腔体可实现良好的工艺均匀 性和重复性，设备也可用于清洗和旋干工艺。
UNIXX S 20 D的落地式柜体经专门设计，方便操作和维修。它是一款手动显影机，适 用于实验室开展科学研究和技术开发。设备具有多选项（例如可编程流体输送臂）并且 可以升级成自动化的系统达到更高的片到片工艺重复性。
特点
可处理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm) 方片或 Ø 8" (Ø 200mm)圆片
采用真空或微接触夹具针对圆形和方形基板
不同尺寸的圆片/方形片的夹具可容易更换
真空安全联锁功能
触摸屏输入显示
启动、停止及真空操作按钮
可编程速度和加速度
马达转速最大可达10000转/分钟
易拆卸双片腔体本体和防溅环
网络接口
USB接口
选项
➤ 电子流体输送手臂--移动速度和位置可编程
➤ 液体喷嘴 – 喷雾型,射流型
➤ 热流体线，最高80°C
➤ 真空或微接触夹具 – 不同尺寸
➤ 可拆卸工艺腔体及防溅环
➤ 热板
➤ 热板接近式烘烤, 手动可调接近距离
➤ 可编程接近距离热板
➤ 真空泵
➤ 附加HMDS热板
性能参数
触摸屏程序输入
➤ 程序数: 100
➤ 程序步数: 50
➤ 最长单步时间: 999秒
➤ 单步时间分辨率: 0.1秒
旋转马达
➤ 旋转速度: 最高 10.000 转/分钟*
➤ 转速分辨率: 1转/分钟
➤ 旋转精度: ± 2 转/分钟
➤ 加速度: 最高 50,000 转/分钟/秒* *和基片重量有关
热板
➤温度范围: 最高 300°C
➤温度分辨率: 0.1°C
➤ 温度均匀性( 100°C 时) : < ± 0.5°C 动力需求
➤电源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A
➤ 压缩空气: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD Ø8mm
➤ 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD Ø8mm
➤ N氮气 (选项): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD Ø6mm
设备外形(宽 x 深 x 高):
➤落地式柜体: 约 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6”x 25.6”x 52”)
➤带水平调节
➤不锈钢框架
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