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仪器介绍 ISC150离子溅射仪视频
2023-31-24

视频详情:采用高性能旋片泵快速产生一个 < 1-2 Pa的真空压强,通常抽真空时间小于1-2分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源,以确保恒定镀膜沉积速率。磁控阴极的使用也大幅度减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率或温度敏感SEM 电镜样品的喷金、喷铂等贵金属镀膜用途。触摸屏控制,即插即用。

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