型号: | FST 5000 |
产地: | 广东 |
品牌: | 速普仪器 |
评分: |
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应用领域: |
共1个
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1.测试原理
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理,采用先进的激光扫描方式和探测技术,以及智能化的操作,使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜
应力测量。
2.为什么检测薄膜应力?
薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项,直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性,薄膜应力过大会引起以下问题:
1.膜裂
2.膜剥离
3.膜层皱褶
4.空隙
检测薄膜应力是半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜品检及改进工艺的有效手段!
用户单位 | 采购时间 |
贵州大学 | 2022/10/17 |
西安龙翔半导体有限公司 | 2022/07/08 |
江苏多维科技有限公司 | 2022/06/16 |
宁波新材料测试评价中心有限公司 | 2022/07/20 |
华为机器有限公司 | 2022/07/22 |
江西师范大学 | 2022/07/26 |
香港科技大学(广州) | 2022/07/29 |
长光集智光学科技有限公司 | 2022/09/26 |
芜湖长信科技股份有限公司 | 2022/05/10 |
江西杰创半导体有限公司 | 2022/04/30 |
深圳技术大学 | 2022/04/15 |
松山湖材料实验室 | 2022/03/08 |
华为技术有限公司 | 2022/01/20 |
浙江光特科技有限公司 | 2021/10/18 |
宁波大学 | 2020/01/03 |
西安交通大学 | 2020/05/20 |
安徽熙泰智能科技有限公司 | 2020/05/29 |
深圳力策科技有限公司 | 2020/09/30 |
电子科技大学 | 2021/02/26 |
深圳北理莫斯科大学 | 2021/04/30 |
中国工程物理研究院 | 2021/06/22 |
华为技术有限公司 | 2021/08/11 |
华中科技大学 | 2021/08/13 |
中国科学院物理研究所 | 2021/09/15 |
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