速普仪器【SuPro】ISC150 T高真空离子溅射仪_价格-深圳市速普仪器有限公司

速普仪器【SuPro】ISC150 T高真空离子溅射仪

参考价：¥18万

型号：

ISC150 T

产地：

广东

品牌：

速普仪器

评分：

应用领域：

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产品详情

ISC150离子溅射仪升级版本，采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境，保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率FE-SEM样品的喷金喷铂,EDS和EBSD喷碳，光电薄膜制备，电极材料制备及其他金属镀膜用途。

本离子溅射仪主要的特点就是“无油，高真空”，制备薄膜纯度更高，薄膜质量更优；并且能够在超净间内使用。

另外附加旋转/偏转选配模块，实现3D结构样品及空隙结构样品均匀镀膜喷金导电。

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典型用户

用户单位	采购时间
北京工业大学	2019/01/17
南开大学	2019/06/19
成都职业技术学院	2019/08/09
中国石油大学（华东）	2019/09/09
上海科技大学	2019/11/05
中国工程物理研究院	2020/07/27
安徽工业大学	2020/11/11
中科院兰州化学物理所青岛研发中心	2020/12/08
南开大学	2020/12/15
海思光电子有限公司	2020/12/21
西安交通大学	2020/12/21