| 型号： | FST5000 |
| 产地： | 广东 |
| 品牌： | 速普仪器 |
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| 应用领域： |
共1个
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1.测试原理
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜
应力测量。
2.为什么检测薄膜应力？
薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性，薄膜应力过大会引起以下问题：
1.膜裂
2.膜剥离
3.膜层皱褶
4.空隙
检测薄膜应力是半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜品检及改进工艺的有效手段！
| 用户单位 | 采购时间 |
| 贵州大学 | 2022/10/17 |
| 长光集智光学科技有限公司 | 2022/09/26 |
| 香港科技大学（广州） | 2022/07/29 |
| 江西师范大学 | 2022/07/26 |
| 华为机器有限公司 | 2022/07/22 |
| 宁波新材料测试评价中心有限公司 | 2022/07/20 |
| 江苏多维科技有限公司 | 2022/06/16 |
| 西安龙翔半导体有限公司 | 2022/07/08 |
| 芜湖长信科技股份有限公司 | 2022/05/10 |
| 江西杰创半导体有限公司 | 2022/04/30 |
| 深圳技术大学 | 2022/04/15 |
| 松山湖材料实验室 | 2022/03/08 |
| 华为技术有限公司 | 2022/01/20 |
| 浙江光特科技有限公司 | 2021/10/18 |
| 中国科学院物理研究所 | 2021/09/15 |
| 华中科技大学 | 2021/08/13 |
| 华为技术有限公司 | 2021/08/11 |
| 中国工程物理研究院 | 2021/06/22 |
| 深圳北理莫斯科大学 | 2021/04/30 |
| 电子科技大学 | 2021/02/26 |
| 深圳力策科技有限公司 | 2020/09/30 |
| 安徽熙泰智能科技有限公司 | 2020/05/29 |
| 西安交通大学 | 2020/05/20 |
| 宁波大学 | 2020/01/03 |
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