量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800

量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800

参考价:¥150万 - 200万
型号: NE-5700/NE-7800
产地: 日本
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产品详情

量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800

 

量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800是可以对应单腔及多腔、重视性价比拥有扩展性的刻蚀设备。

 

产品特性 / Product characteristics

 除单腔之外,另可搭载有磁场ICP(ISM)或NLD等离子源、去胶腔体、CCP腔体等对应多种刻蚀工艺。

为实现制程再现性及安定性搭载了星型电极及各种调温技能。

拥有简便的维护构造,实现downtime最短化,提供清洗、维护及人员训练服务等综合性的售后服务体制。

专门的半导体技术研究所会提供万全的工艺支持体制。

 

产品应用 / Product application

化合物(LED或LD、高频器件)或Power device(IGBT配線加工、SiC加工)。

金属配线或层间绝缘膜(树脂类)、门电极加工工艺

强电介质材料或贵金属刻蚀。

磁性体材料加工。


北京亚科晨旭科技有限公司为您提供量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800,nullNE-5700/NE-7800产地为日本,属于进口等离子体刻蚀设备,除了量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,ASTchian客服电话400-860-5168转4552,售前、售后均可联系。

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