高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H_价格-北京亚科晨旭科技有限公司

产品详情

高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H

高密度等离子客户装置ULHITE NE-7800H是对应刻蚀FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAM等器件所用的高难度刻蚀材料（强电介质层、贵金属、磁性膜等）的Multi-Chamber型低压高密度等离子刻蚀设备。

产品特性 / Product characteristics

有磁场ICP（ISM）方式-可产生低圧?高密度plasma、为不挥发性材料加工的专用设备。

可提供对应从常温到高温（400oC）的层积膜整体刻蚀、硬掩膜去除的刻蚀解决方案。

通过从腔体到排气line、DRP为止的均匀加热来防止沉积物。

该设备采用可降低养护清洗并抑制partical产生的构造和材料及加热机构，是在不挥发性材料的刻蚀方面拥有丰富经验的量产装置。

实现了长期的再现性、安定性

产品应用 / Product application

FeRAM, MRAM, ReRAM, CBRAM, PcRAM等.

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H，null高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H产地为日本，属于进口等离子体刻蚀设备，除了高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 北京亚科晨旭科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105009081828
成立日期: 2005年11月28日
注册资本: 500
经营范围: 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

型号：	高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H
产地：	日本
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