对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700_价格-北京亚科晨旭科技有限公司

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对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700

对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700是搭载了磁性中性线（NLD- neutral loop discharge）等离子源的量产用干法刻蚀装置。（此爱发科独chuang的NLD技术设备可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子）

产品特性 / Product characteristics

• 在洁净房内作业可扩张为双腔。（可选配腔室：NLD、有磁场ICP、CCP或者去胶室）

• NLD为时间空间可控的等离子，因此设备干法清洁容易。

• 腔体维护简便。

• 从掩模刻蚀到石英、玻璃刻蚀，可提供各类工艺解决方案。

• 专门的半导体技术研究所会提供万全的工艺支持体制。

产品应用 / Product application

• 光学器件（折射格子、光波导、光学开关等等）、凹凸型微透镜。

• 流体路径作成或光子学结晶。

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 北京亚科晨旭科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105009081828
成立日期: 2005年11月28日
注册资本: 500
经营范围: 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

型号：	对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700
产地：	日本
品牌：
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