弗莱贝格仪器MDPpro 晶圆片/晶锭少子寿命检测仪_价格-弗莱贝格仪器（上海）有限公司

MDPpro 晶圆片/晶锭少子寿命检测仪

报价：面议

型号：

MDPpro

产地：

德国

品牌：

弗莱贝格仪器

评分：

产品详情

简介

该设备依据SEMI标准PV9-1110，采用非接触式和无损成像技术，进行光电导性、电阻率及p/n类型的检测，适用于晶圆切割、炉内监控及材料优化等。其测量速度快（<4分钟/晶锭），日产量高（>240块/天），并具备高良品率、高可靠性和高可重复性（>99.5%）。此外，该设备还能够进行电阻率面扫描、金属杂质检测（如铁浓度）、陷阱浓度测定及硼氧测定等精密材料研发工作，并能实现对不可见缺陷的高灵敏度可视化检测。

根据SEMI标准PV9-1110的非接触式和无损成像(μPCD / MDP(QSS))、光电导性、电阻率和p/n检查。

晶圆切割，炉内监控，材料优化等。

日常寿命测量，质量控制和检验

最佳产量：>240块/天或>720片/天
测量速度：对于156x156x400mm标准晶锭，<4分钟
良品率提升：1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
质量控制：用于过程和材料的质量监控，如单晶硅或多晶硅
沾污检测：起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)
可靠性：模块化和坚固耐用的工业仪器，更高可靠性，运行时间> 99%
可重复性:> 99.5%
电阻率：可做面扫描，不需经常校准

精密材料研发

铁浓度测定
陷阱浓度测定
硼氧测定
依赖于注入的测量等

特性
无接触和无破坏的半导体检测
特殊“underneath the surface”寿命测量技术
对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度
自动设置硅錠切割标准
空间分辨p/n电导型变换检测

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