弗莱贝格仪器MDPinline ingot 晶锭在线面扫检测仪_价格-弗莱贝格仪器（上海）有限公司

MDPinline ingot 晶锭在线面扫检测仪

报价：¥80万 - 100万

型号：

MDPinline ingot

产地：

德国

品牌：

弗莱贝格仪器

评分：

产品详情

简介

MDPinline ingot系统是专为高通量工厂设计的最快多晶硅晶锭电学参数特性测量工具，能在1分钟内完成晶锭四面的高分辨率（>1mm）扫描，同时测量寿命、光电导率和电阻率等参数。该系统具备自动切割标准定义功能，可用于材料质量监控、炉料质量控制及工艺改进，且能实现对隐形缺陷的可视化检测，提高成品率。其“underneath the surface”测量技术显著减少表面重组导致的数据失真。适用于快速检测光伏晶圆厂中的多晶硅晶锭特性。

MDPinline ingot系统是世界上最快的多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命，光电导率，电阻率)都是同时测量的。

该系统包括一个数据库和统计数据评估，可用于自动确定精确的切割位置，以提高成品率。用于材料质量监控，炉选择和工艺改进。

性能

无接触破坏的半导体特性
少数载流子寿命的检测能力
先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化
自动切割标准定义
获取体材料性质的稳态测量
完全自动化的内联集成
对太阳能级硅錠进行扫描，1mm分辨率
测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描，可自动测量所有4个面
Automated determination of cut off criteria

优势

先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。
在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的
线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库，该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。
对炉料进行质量控制和炉况监测，并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。

Recognition of cracks, chunks etc. Automated cut criteria definition, lifetime map

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