型号: | F20、F50、F54、F10-HC等 |
产地: | 美国 |
品牌: | 美商菲乐 |
评分: |
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厂家授权代理商——岱美仪器技术服务(上海)有限公司
岱美有限公司与Filmetrics从03年开始的合作关系,单是国内于16年已卖出超过600台不同型号仪器,在国内有多个服务处均有工程师,保证能为客户提供及时的服务。
经济实惠的薄膜厚度测量系统的全球销售领头者,让复杂测量变得简单
产品简介:
美国 Filmetrics 公司生产的薄膜厚度测量仪利用反射干涉的原理进行无损测量,可测量薄膜厚度及光学常数。测量精度达到埃级的分辩率,测量迅速,操作简单,界面友好,是目前市场上极具性价比的薄膜厚度测量设备。设备光谱测量范围从近红外到紫外线,波长范围从200nm到1700nm可选。凡是光滑的,透明或半透明的和所有半导体膜层都可以测量。其可测量薄膜厚度在 1nm 到 13mm 之间,测量精度高达1 埃,测量稳定性高达 0.7 埃,测量时间只需一到二秒, 并有手动及自动机型可选。可应用领域包括:生物医学(Biomedical), 液晶显示(Displays), 硬涂层(Hard coats), 金属膜(Metal), 眼镜涂层(Ophthalmic) , 聚对二甲笨(Parylene), 电路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半导体材料(Semiconductors) , 太阳光伏(Solar photovoltaics), 真空镀层(Vacuum Coatings), 圈筒检查(Web inspection applications)等。
应用:
通过Filmetrics膜厚测量仪新反射式光谱测量技术,多达3-4层透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在数秒钟测得。其应用广泛,例如:
半导体制造 | 液晶显示器 | 生物医疗元件 | 微机电系统 | 光学镀膜 |
Photoresist 光刻胶 Oxides 氧化物 Nitrides 氮化物 SOI 绝缘体上硅 | Cell Gaps液晶间隙 Polyimide 聚酰亚胺保护膜 ITO 纳米铟锡金属氧化物 | Polymer/Parylene Layers 聚合物/聚对二甲苯涂层 Membrane/Balloon Wall Thickness 生物膜/气泡球厚度 Drug-Coated Stent 药物涂层支架 | Silicon Membranes 硅膜 AlN/ZnO Thin Film Filters 氮化铝/氧化锌薄膜滤镜 | Hardness Coatings 硬镀膜 Anti-reflection Coatings 增透镀膜 Filters滤光 |
膜层实例:
几乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能测。包括:
SiO2(二氧化硅) SiNx(氮化硅) DLC(类金刚石碳)
Photoresist(光刻胶) Polyer Layers(高分子聚合物层) Polymide(聚酰亚胺)
Polysilicon(多晶硅) Amorphous Silicon(非晶硅)
基底实例:
对于厚度测量,大多数情况下所要求的只是一块光滑、反射的基底。对于光学常数测量,需要一块平整的镜面反射基底;如果基底是透明的,基底背面需要进行处理使之不能反射。
包括:
Silicon(硅) Glass(玻璃) Aluminum(铝)
Gas(砷化镓) Steel(钢) Polycarbonate(聚碳酸脂)
Polymer Films(高分子聚合物膜)
产品应用,在可测样品基底上有了极大的飞跃:
●几乎所有材料表面上的镀膜都可以测量,即使是药片,木材或纸张等粗糙的非透明基底。
●玻璃或塑料的板材、管道和容器。
●光学镜头和眼科镜片。
服务:
免费样机演示及测量
轻轻一按即可实现测量!
请联系我们,专业的应用工程师将为你演示它是如此的方便!
优势:
* 提供在线诊断
* 配送独立的软件包
* 精通的历史功能即程序数据可存储、复制及策划结果
* 免费软件升级
极易操作、快速、准确、机身轻巧及价格便宜为其主要优点,Filmetrics提供以下型号以供选择:
一、单点测量系统(从 1nm 到 13mm 单层及多层厚度测量)
F20 | 全世界销量好的薄膜测量系统,有各种不同附件和波长(由220nm紫外线区 至1700nm近红外线区)覆盖范围,为任意携带型,可以实现反射率、膜厚、n、k值测量。 |
F3-sX | 能测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米, 例如硅片 |
F10-ARc | 可测量镜片和其他曲面的反射率,用于涂层厚度测量 |
F10-HC | 测量硬涂层和防雾层厚度和折射率,聚碳酸酯硬涂层在汽车等行业应用普通 |
F3-CS | 提供微小视野及微小样品测量,USB连接电脑即可使用,携带方便 |
F10-AR | 测量眼科镜头和其他弯曲表面的反射率。还可以提供测量硬涂层厚度和透射率的可选件 |
F10-RT | 可同时测量反射率和透射率,也可选配测量膜层厚度和折射率。普遍应用于真空涂层领域 在F20实现反射率跟穿透率的同时测量,特殊光源设计特别适用于透明基底样品的测量。 |
二、F40 系列- 基于微米(显微)级别光斑尺寸厚度测量
F40 | 可以固定到您的显微镜上来测量小至 1um 光斑点的厚度和折射率 这型号安裝在任何显微镜外,可提供小到1um光點(100倍放大倍數)來測量微小樣品。 |
三、F50/F60系列- 表面的自动测绘
F50 | 为我们的F20系列产品增添自动测绘能力,以每秒钟 2 个点的快速测绘厚度和折射率 这型号配备全自动XY工作台,由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通过快速扫瞄功能,可取得整片样品厚度分布情况(mapping)。 |
F54 | 能以每秒测量两个点的速度快速的测绘薄膜厚度,样品直径可达450毫米 |
F60-t | 满足生产环境的台式测绘系统,包括自动基准确定、凹槽定位、全封闭测量平台以及其它装置 |
四、F30 系列- 在线厚度监控仪器
F30 | 检测金属有机化学气相沉积(MOCVD)、阴极溅镀和其他沉积工艺中监控反射率、厚度和沉积率 这型号可安装在任何真空镀膜机腔体外的窗口。可实时监控长晶速度、实时提供膜厚、n、k值。并可切定某一波长或固定测量时间间距。更可加装至三个探头,同时测量三个样品,具紫外线区或标准波长可供选择。 |
F32 | 实时监控薄膜顶部和底部的反射率和沉积速率 |
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上海分公司
地址: 上海市浦东金高路 2216 弄 35 号6 幢 306-308 室
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岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业领头制造商和创新研发机构的先进设备分销商。在21世纪初期,Dymek已从我们在香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今全球化的市场中,我们的客户有连接东南亚各国的综合供应链已经成为基本。我们我们的专业人员随时准备与他们会面。
我们总部设在香港,在中国(北京和上海,以及广东东莞)拥有强大的业务。我们还在马来西亚,新加坡,台湾,菲律宾和泰国的东南亚设有分支机构。我们所有的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。
我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚快速增长企业的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的新发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的先进设备连接起来。
可以立即联系我们,了解我们如何与您合作,实现您组织的长期财务目标。
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