型号: | customized-1 |
产地: | 其他 |
品牌: | 矢量科学 |
评分: |
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v 适用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘
v 自动滴胶功能
v 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制
v 转速范围:20-10000rpm
v 转速分辨率:±1rpm
v 加速度可调范围:20-50000rpm/s
v 单步时长:3000s
时间分辨率:0.1s
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