高密度等离子刻蚀装置

高密度等离子刻蚀装置

参考价：面议
型号： ULHITETM NE-7800H
产地： 日本
品牌： 爱发科
评分：
核心参数
深圳市矢量科学仪器有限公司
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产品详情

高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H

高密度等离子客户装置ULHITE NE-7800H是对应刻蚀FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAM等器件所用的高难度刻蚀材料（强电介质层、贵金属、磁性膜等）的Multi-Chamber型低压高密度等离子刻蚀设备。

  • 产品特性 / Product characteristics

  • •有磁场ICP（ISM）方式-可产生低圧・高密度plasma、为不挥发性材料加工的用设备。

    •可提供对应从常温到高温（400ºC）的层积膜整体刻蚀、硬掩膜去除的刻蚀解决方案。

    •通过从腔体到排气line、DRP为止的均匀加热来防止沉积物。

    •该设备采用可降低养护清洗并抑制partical产生的构造和材料及加热机构，是在不挥发性材料的刻蚀方面拥有丰富经验的量产装置。

    •实现了长期的再现性、安定性


  • 产品应用 / Product application

  • •FeRAM, MRAM, ReRAM, CBRAM, PcRAM等.

  • 产品参数 / Product parameters


1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供爱发科高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H，爱发科ULHITETM NE-7800H产地为日本，属于进口等离子体刻蚀设备，除了高密度等离子刻蚀装置的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,客服电话400-860-5168转5919，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 60天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训

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