8英寸多片硅外延系统

8英寸多片硅外延系统

参考价:面议
型号: SES系列
产地: 北京
品牌: 北方华创
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核心参数
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产品详情

1. 产品概述

SES系列 8英寸多片硅外延系统为单腔多片式硅外延设备,适用于4、5、6、8英寸的硅外延工艺。SES系列反应腔室采用多片平板式的结构,配合感应加热的方式实现高质量的外延薄膜生长,适用于厚度5-150µm范围的外延工艺,精确可调N型、P型掺杂。该设备智能化人机交互设计与高效的安全互锁保障了系统安全和稳定。

2. 设备用途/原理

SES系列 8英寸多片硅外延系统适用于 5-150 微米范围的硅外延工艺先进的感应加热和气流场技术提供了优良稳定的工艺性能多片平板式设计,高容载量自动化程度高、产能高、低运营成本

3. 设备特点

晶圆尺寸 4、5、6、8 英寸适用材料 适用工艺 N&P 硅外延适用域 科研、集成电路


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创 8英寸多片硅外延系统SES系列,北方华创SES系列产地为北京,属于国产外延系统,除了 8英寸多片硅外延系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多外延系统,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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