型号: | Esther/Eris 系列 |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
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1. 产品概述
Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统,传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途,友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效,具有单腔和多腔两种机型,可满足不同客户需求。
2. 设备用途/原理
Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统,Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统,传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途。友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效,具有单腔和多腔两种机型,可满足不同客户需求。
3. 设备特点
晶圆尺寸 6、8 英寸,适用材料 硅,适用工艺 常压:N&P 常压硅外延,减压:埋层外延、选择性外延、多晶外延,适用域 科研、集成电路。
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