北方华创12英寸单片减压硅外延系统Hesper I E430R _价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

Hesper I E430R 12英寸单片减压硅外延系统，优异的气流场和加热场设计提供优良的工艺性能。

2. 设备用途/原理

Hesper I E430R 12英寸单片减压硅外延系统：优异的气流场和加热场设计提供优良的工艺性能，高效传输设计，可提高产能，单、双、四腔兼容设计，可满足不同客户需求。

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸，适用材料硅，适用工艺埋层外延、选择性外延、多晶外延，适用域科研、集成电路。百科知识；‌减压硅外延系统的工作原理主要涉及在氢等离子体原位清洁过的硅衬底表面上，利用减压（200～250乇）工艺在980～1000℃的温度下生长出高质量的外延层。‌这一过程不仅优化了外延层的生长条件，还显著提高了外延层的结晶质量。具体来说，通过减压工艺，可以减小衬底-外延层界面的掺杂浓度过渡区，从常压时的1.0μm减小到0.4μm，同时电阻率和厚度的不均匀性分别小于5%和4%。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	Hesper I E430R
产地：	北京
品牌：	北方华创
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