多片式MOCVD系统

多片式MOCVD系统

参考价:面议
型号: Satur系列
产地: 北京
品牌: 北方华创
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产品详情

1. 产品概述

Satur系列 多片式MOCVD系统,优异的均匀性、一致性、稳定性控制,MOCVD 即金属有机物化学气相沉积,是一种用于生长化合物半导体薄膜的技术。它通过将Ⅲ族元素的有机化合物和氨气或氧气等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

2. 设备用途/原理

Satur系列 多片式MOCVD系统优异的均匀性、一致性、稳定性控制盒对盒全自动传输系统先进的实时监控系统友好界面与配方编辑功能满足 SEMI S2 安全标准

3. 设备特点

晶圆尺寸 4、6、8 英寸沉积材料 氮化镓、砷化镓、磷化铟适用材料 硅、碳化硅、氧化铝、砷化镓、磷化铟适用领域 科研、集成电路、化合物半导体


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创多片式MOCVD系统Satur系列 ,北方华创Satur系列 产地为北京,属于国产外延系统,除了多片式MOCVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多外延系统,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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