型号: | MARS iCE120 |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
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1. 产品概述
MARS iCE120 多片碳化硅外延系统,产能大,6 英寸运营成本低。
2. 设备用途/原理
MARS iCE120 多片碳化硅外延系统,产能大,6 英寸运营成本低。薄膜和厚膜外延兼容,工艺稳定性高。具备多层外延能力。气流场和加热场设计,工艺性能优异。可靠的压力控制系统,成膜质量均一性好。兼容 8 英寸。
3. 设备特点
晶圆尺寸 6、8 英寸,适用材料 碳化硅 SiC,适用工艺 N&P 碳化硅外延,适用域 科研、化合物半导体。
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