多片碳化硅外延系统

多片碳化硅外延系统

参考价:面议
型号: MARS iCE120
产地: 北京
品牌: 北方华创
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产品详情

1. 产品概述

MARS iCE120 多片碳化硅外延系统,产能大,6 英寸运营成本低。

2. 设备用途/原理

MARS iCE120 多片碳化硅外延系统产能大,6 英寸运营成本低薄膜和厚膜外延兼容,工艺稳定性高具备多层外延能力气流场和加热场设计,工艺性能优异可靠的压力控制系统,成膜质量均一性好兼容 8 英寸

3. 设备特点

晶圆尺寸 6、8 英寸适用材料 碳化硅 SiC适用工艺 N&P 碳化硅外延适用域 科研、化合物半导体


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创多片碳化硅外延系统MARS iCE120 ,北方华创MARS iCE120 产地为北京,属于国产外延系统,除了多片碳化硅外延系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多外延系统,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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