型号: | Pallas A220 |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
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Pallas A220 碳化硅快速热退火系统
1、独特的加热分区设计,具备良好的温度均匀性
Unique multi-zone heating design, achieving better temperature uniformity
2、高精度的控温模式
PID temperature control for high accuracy
3、更优的升温速率
Appropriate ramp rate
技术参数 Technical Parameters
1、晶圆尺寸 6/8 英寸兼容
2、适用工艺 快速热退火
4、适用领域 科研、化合物半导体
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