碳化硅快速热退火系统

碳化硅快速热退火系统

参考价:面议
型号: Pallas A220
产地: 北京
品牌: 北方华创
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产品详情

Pallas A220 碳化硅快速热退火系统

1、独特的加热分区设计,具备良好的温度均匀性 

Unique multi-zone heating design, achieving better temperature uniformity 

2、高精度的控温模式 

PID temperature control for high accuracy 

3、更优的升温速率

 Appropriate ramp rate


技术参数 Technical Parameters

1、晶圆尺寸 6/8 英寸兼容

2、适用工艺 快速热退火

4、适用领域 科研、化合物半导体

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创碳化硅快速热退火系统Pallas A220 ,北方华创Pallas A220 产地为北京,属于国产退火炉,除了碳化硅快速热退火系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多退火炉,客服电话400-860-5168转5919,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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