碳化硅高温退火炉

碳化硅高温退火炉

参考价:面议
型号: VERIC A6151A
产地: 北京
品牌: 北方华创
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核心参数
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产品详情

1. 产品概述

VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉,适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备。

2. 设备用途/原理

VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备高温度 2000℃,升温速率可达 100℃/min石墨电阻加热,工艺腔室洁净自动装片,Cassette to CassetteSEMI S2/S6 认证

3. 设备特点

晶圆尺寸 4/6 英寸兼容适用材料 碳化硅、氮化铝适用工艺 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、沟槽平滑适用域 科研、化合物半导体


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创碳化硅高温退火炉VERIC A6151A ,北方华创VERIC A6151A 产地为北京,属于国产单晶炉,除了碳化硅高温退火炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多单晶炉,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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