型号: | FLOURIS 201系列 |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
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1. 产品概述
FLOURIS 201系列 8英寸立式炉,高精度温度场控制技术,可实现 1200℃ 内氧化退火工艺。
2. 设备用途/原理
FLOURIS 201系列 8英寸立式炉,高精度温度场控制技术,可实现 1200℃ 内氧化退火工艺,先进的颗粒控制技术,优良的膜厚均匀性控制技术,图形化操作界面和群组管理系统。
3. 设备特点
晶圆尺寸 8 英寸,适用材料 硅、碳化硅。适用工艺 高温氧化、退火、常压合金、Polyimide 固化。适用域 科研、化合物半导体、集成电路。
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