高密度等离子体化学气相沉积系统

高密度等离子体化学气相沉积系统

参考价:面议
型号: Orion Proxima
产地: 北京
品牌: 北方华创
评分:
核心参数
关注展位 全部仪器
展位推荐 更多
产品详情

Orion Proxima 高密度等离子体化学气相沉积系统

1、优越的填孔能力以及高沉积速率

 Excellent gap-fill capacity and high deposition rate 

2、独特的温度场和 ICP 电磁场设计保证了低温高致密的膜质表现

 Unique thermal field and ICP Electromagnetic field design enhancing performance of the high-density film quality at low temperature 

3、优化机台结构,缩小占地面积 

Optimized system architecture with minimized foot print 

4、友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效 

User-friendly interface and security designed to ensure the system stability, safety and efficiency


技术参数

1、晶圆尺寸 12 英寸

2、适用材料 氧化硅

3、适用工艺 浅沟槽隔离、金属间介质层、钝化层

4、适用领域 新兴应用、集成电路

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创高密度等离子体化学气相沉积系统Orion Proxima ,北方华创Orion Proxima 产地为北京,属于国产化学气相沉积设备,除了高密度等离子体化学气相沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

相关产品

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创高密度等离子体化学气相沉积系统Orion Proxima ,北方华创Orion Proxima 产地为北京,属于国产化学气相沉积设备,除了高密度等离子体化学气相沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。
Business information
工商信息 信息已认证
当前位置: 仪器 高密度等离子体化学气相沉积系统

关注

拨打电话

留言咨询