型号: | Saqua SC3080A系列 |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
|
1. 产品概述
Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备。
2. 设备用途/原理
Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备,精密的腔室微环境控制能力,支持多种化学品,高效的化学品回收效率,4 腔或 8 腔可选。
3. 设备特点
晶圆尺寸 12 英寸,适用材料 单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜。适用工艺 后段 Cu/Al 制程刻蚀后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蚀, 后段控挡片回收。适用域 新兴应用、集成电路、先进封装。
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询