型号: | UV-1 |
产地: | 日本 |
品牌: | SAMCO |
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紫外线臭氧清洗机 UV-1紧凑型台式设备
UV-1是一款紧凑型台式紫外线臭氧清洗机。该系统将紫外线照射、臭氧和平台加热独特地结合在一起,温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、GaAs、InP、SiC)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。
最大加工尺寸为ø100 mm(4英寸)。
加热阶段加快了清洗速度,实现了宽广的工艺温度范围。
紧凑,使用最小的台式空间
简单,在大气压下操作--不需要真空系统。
柔软、完全干燥的工艺不会对基材造成电损伤。
盖子联锁保证了当盖子打开时,系统无法运行。
臭氧催化剂装置,用于将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。
安全性能自动N₂净化循环、加热级保险丝保护、臭氧洗涤器和紧急停止开关。
塑料包装和引线框架的表面清洁。
复合半导体(GaN、GaAs、InP和SiC)的表面清洗。
表面改性(润湿性和附着力的改善
表面氧化(薄氧化层沉积)
光阻剂的灰化、剥离和除尘。
清除有机污染物
紫外线固化
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