紫外线臭氧清洗机

紫外线臭氧清洗机

参考价:面议
型号: UV-300H
产地: 日本
品牌: SAMCO
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紫外线臭氧清洗机 UV-300H

200 - 300 nm/min的高灰化率。

概要

UV-300H是一款高性能的紧凑型紫外线臭氧清洗机。通过滑动抽屉将基材装入系统中。紫外线照射、高浓度臭氧和阶段性加热的独特组合,可温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、SiC、GaAs、InP)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。


主要特点和优点

    • 最大加工尺寸为ø300mm(ø12英寸)。

    • 200 - 300 nm/min的高灰化率。

    • 加热阶段加快了清洗速度,实现了宽广的工艺温度范围。

    • 通过调整平台和石英扩散板之间的间隙,可以提高基板的均匀性。

    • 紧凑,使用最小的洁净室空间

    • 简单,在大气压下操作--不需要真空系统。

    • 柔软、完全干燥的工艺不会对基材造成电损伤。

    • 抽屉联锁保证了当抽屉打开时系统无法工作。

    • 内置臭氧催化剂装置,可将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。

应用

  • 塑料包装和引线框架的表面清洁。

  • 复合半导体(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。

  • 表面改性(润湿性和附着力的改善

  • 表面氧化(薄氧化层沉积)

  • 光阻剂的灰化、剥离和除尘。

  • 清除有机污染物

  • 紫外线固化





深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供SAMCO紫外线臭氧清洗机UV-300H,SAMCOUV-300H产地为日本,属于进口洗瓶机/清洗机,除了紫外线臭氧清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多洗瓶机/清洗机,客服电话400-860-5168转5919,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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